把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术则更有可能以小博大。
于是就和林本坚一拍即合,仅用一年时间,就在2004年就拼全力赶出了第一台样机,并先后夺下IBM和TJD等大客户的订单。
N康晚了半步,很快也就亮出了干式微影157nm技术的成品,但毕竟被A斯麦抢了头阵,更何况波长还略落后于对手。
等到一年后,N康又完成了对浸润式技术的追赶,可是客户却已经不承认“老情人”,毕竟GKJ又不是小朋友玩具,更替要钱,学习更要成本。
其实早于1997年,在米国政府一手干预下,当N康被EUV LLC排挤在外时,就已经注定了如今GKJ市场一家独大的结局。
当年为了尝试突破193nm,Y特尔更倾向于激进的EUV方案,于是在1997年,就攒起了一个叫EUV LLC的联盟。
联盟中的名字个个如雷贯耳:除了Y特尔和牵头的米国能源部以外,还有M托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。
这些实验室绝对是米国科技发展的幕后英雄,之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向,有核武器、超级计算机、国家点火装置,甚至还有二十多种新发现的化学元素。
资金到位,技术入场,人才云集,但偏偏联盟中的米国GKJ企业SVG、Ultratech早在80年代就被N康打得七零八落,根本烂泥扶不上墙。
于是,Y特尔就想拉来N康和A斯麦一起入伙。但问题在于,这两家公司,一个来自东瀛,一个来自尼德兰,都不是本土企业。
偏偏,米国政府又将EUV技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术,并不太希望外国企业参与其中,更何况那些八十年代在半导体领域压了米国风头的东瀛企业。
但EUVGKJ又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。别说是对小国东瀛与尼德兰,就算是米国,想要一己之力自主突破这项技术,也是痴人说梦。
米国自然不会给东瀛提供以后可能会扼住米国半导体咽喉的机会。
重生从努力当学霸开始